溅射靶材作为一种零件，在微电子领域、显示器等领域中都有着广泛的应用，在溅射靶材的运用过程中，溅射靶材的保养也是不可忽视的方面，常常保养溅射靶材能够减少溅射靶材外表的残留物，进步靶材的运用功率，那么溅射靶材的保养办法有哪些呢？下面丰联科小编带大家来了解一下
溅射靶材保养办法
1、溅射靶材维护
靶材维护能够避免在靶材的溅射过程中，由于溅射靶材不洁净的腔体而导致出现短路或起弧现象，因此需要阶段性地去除靶材溅射轨道中间和两边的堆积物，有助于运用者能接连地以大功率密度进行溅射。
2、溅射靶材贮存
对于溅射靶材的贮存，尽量将其贮存在真空包装中，特别是贴合溅射靶材，须在真空条件下贮存，避免出现贴合层氧化导致影响溅射靶材贴合质量。贮存金属溅射靶材时，能够将其贮存在洁净的塑料袋中，不过能真空包装就尽量将其真空包装贮存。
3、溅射靶材清洁
首先运用在丙酮中浸泡过的无绒软布进行清洁，之后再运用酒精进行清洁，清洁完后运用去离子水对溅射靶材进行清洗，清洗完成后将溅射靶材放在烘箱中以100度的温度烘干30分钟，假如是陶瓷溅射靶材的话主张运用无绒布进行清洗。上述悉数完成后，再用高压低湿气的氩气对溅射靶材进行冲刷，清洗掉会在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。
4、溅射靶材的短路和密封性查看
溅射靶材在装置完成后要对整个阴极进行短路查看和密封性查看，一般是运用电阻仪摇表的方式对阴极进行查看，判断它是否存在短路现象，在确保阴极不存在短路现象后，再对它进行密封性查看，将水通入阴极中来判断是否存在漏水的现象。
5、溅射靶材的包装和运送
在溅射靶材的运送过程中，尽量将靶材包装在带有防潮剂的真空密封袋中，之后运用木箱做为外包装，并在其四周装置防撞层，保护靶材和背板，避免靶材和背板在运送贮存过程中损坏。
