靶材电镀是一种常见的表面处理方法，其技术要点包括以下几个方面：

1. 材料选择：靶材电镀要选择合适的基材和镀层材料。基材应具有良好的导电性、机械强度和耐腐蚀性。镀层材料应具有较高的纯度、良好的附着力和化学稳定性。

2. 靶材准备：在电镀之前，需要对靶材进行表面处理，以去除表面的氧化物和污染物，提高靶材的纯净度和表面粗糙度。常用的表面处理方法包括机械抛光、化学抛光和电化学抛光等。

3. 靶材清洗：在电镀之前，必须对靶材进行充分的清洗，以去除表面的油脂、灰尘和污染物。常用的清洗方法包括超声波清洗、喷洗清洗和浸泡清洗等。

4. 电解液配制：电镀过程中的电解液是至关重要的因素之一，必须根据具体的镀层要求选择适当的电解液，并根据实际情况进行配制。电解液的组成和浓度、pH值、温度和搅拌等条件的控制，直接影响到电镀效果的质量和稳定性。

5. 电镀条件控制：在靶材电镀过程中，需要严格控制电镀的条件，包括电流密度、电镀时间、电解液的搅拌和温度等。这些参数的选择和控制，直接影响到镀层的均匀性、致密性和附着力。

6. 镀层监测：电镀过程中，需要对镀层进行定期的监测和检验，以确保镀层的质量和性能。常用的监测方法包括表面形貌观察、厚度测量、化学成分分析和机械性能测试等。

7. 装配和包装：在镀层完成后，需要对靶材进行装配和包装，以防止镀层的损坏和污染。常用的装配方法包括焊接、螺栓连接和机械夹持等。常用的包装材料包括塑料薄膜、泡沫板和纸箱等。

8. 设备和环境要求：靶材电镀需要在特定的设备和环境条件下进行。设备要求包括电镀槽、电源和电解槽等设备的选择和调试。环境要求包括温湿度、洁净度和通风条件等因素的控制。

9. 安全措施：靶材电镀涉及到一定的化学品和电流，需要注意安全操作。操作人员应具备相应的专业知识和技能，正确使用个人防护装备，严格遵守操作规程，防止事故的发生。

10. 缺陷修补：在镀层过程中，有时可能会出现一些缺陷，如孔洞、裂纹和气孔等。这时需要及时修补，以提高镀层的外观和性能。常用的修补方法包括焊接、填塞和喷涂等。

以上是靶材电镀过程中的一些技术要点，通过合理选择材料、进行适当的处理和控制镀层条件，可获得高质量的镀层产品。然而，由于靶材电镀过程的复杂性和多变性，实际应用中还需要根据具体情况进行细致的调整和优化。